光學(xué)微電子凈化工程又稱清凈室或無塵室,目前已是精密制造、半導(dǎo)體、光學(xué)制造、液晶制造、線路板制造和醫(yī)藥、生物化學(xué)、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。
光電車間凈化工程是指不同級別電子廠凈化車間或電子實驗室的半導(dǎo)體、微電子、光電技術(shù)、光學(xué)儀器、PCB、食品、模具等工程。近幾年來,因技術(shù)的創(chuàng)新發(fā)展,對于產(chǎn)品的高精密度化、細小型化的需求越發(fā)迫切,如超大型積體電路之研究制造,已成為世界各國在科技發(fā)展上極為重視的項目。按行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)要求,凈化級別從10-30萬級。凈化的程度也直接影響了電子產(chǎn)品制作的質(zhì)量。
光學(xué)微電子凈化工程包含功能分區(qū)
1.潔凈生產(chǎn)區(qū)
2.管理區(qū)(包括辦公、值班、管理和休息等)
3.潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)。
性能參數(shù)
1、照度計可測參數(shù)
照度計量程:20Lx、200Lx、2000Lx、20000Lx
照度計最小可測光強:0.01Lx
2、低壓電壓表可測電壓
電壓表量程:DC200mV、DC2V、DC20V
電壓表最小可測電壓:0.1mV
3、高壓電壓表可測電壓
電壓表量程:DC20V、DC200V、DC20000V
電壓表最小可測電壓:0.1V
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